空気圧アクチュエータを用いた除振台のアクティブ制御: （アクチュエータとセンサの冗長性を考慮したモデル化手法の提案）

摘要

空気ばねによって支持されるパッシブおよびアクティブ除振台は，精密な計測や加工を伴う産業において広く用いられている．これまでにも，除振台の微振動制御に関する研究は多く，空気圧アクチュエータのファジィ制御も試みられている．本研究では，ベローズ型空気ばねによって支持される除振台を対象とし，ステッピングモータで駆動されるレギュレータの調圧ねじを高速・高精度に開閉することにより空気圧をアクティブ制御し，設置床面から伝わる地動外乱の広い周波数帯域にわたるゲインの低減，除振台上の装置が発生させる直動外乱による振動の抑制とともに除振台の高精度な位置決めの実現を目標とする．