圧電振動子による凝着状態の推定と緩和に関する研究

摘要

マイクロ領域での物体操作では，対象物と操作機具rnとの間に生じる凝着力をどう処理するかが最大の課題rnである（図1参照）．これに対し，吸着形エンドエフrnェクタ，バキュームグリッビングツール，エンrnドエフェクタを傾ける，振動させることによる対象物rn分離，環境・対象情報に基づく対義物換作法，rn静電気による対象物分離，マイクロフィンガーモジrnュールのなど，様々な研究が行われてきた．