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机译:在等离子增强化学气相沉积工艺中同时加入气态和固态原料制备纳米粒子包埋的薄膜
Hiroshima Univ, Grad Sch Engn, Dept Chem Engn, 1-4-1 Kagamiyama, Higashihiroshima, Hiroshima 7398527, Japan;
Hiroshima Univ, Grad Sch Engn, Dept Chem Engn, 1-4-1 Kagamiyama, Higashihiroshima, Hiroshima 7398527, Japan;
Hiroshima Univ, Grad Sch Engn, Dept Chem Engn, 1-4-1 Kagamiyama, Higashihiroshima, Hiroshima 7398527, Japan;
Nanocomposite film; Aerosol-assisted CVD; Protrusion evolution; Photocatalyst; Coulomb explosion;
机译:各种衬底材料对等离子体增强化学气相沉积沉积的非晶硅氮氧化物薄膜微观结构和光学性能的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积氢化纳米晶硅薄膜的制备及结晶特性
机译:多尺度等离子体和特征轮廓型等离子体增强化学气相沉积和原子层沉积工艺的钛薄膜制造
机译:新型单固源金属有机化学气相沉积法处理PbTiO_3和Pb(Zr_xTi_1-x)O_3薄膜
机译:等离子体增强的硅基薄膜材料的化学气相沉积:使用质谱和低温(<600摄氏度)固相结晶的实时过程感测
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积,低温制备TiO 2 sub>薄膜
机译:新型单固体源金属有机化学气相沉积法制备pbTiO {sub 3}和pb(Zr {sub x} Ti {sub 1 {minus} x})O {sub 3}薄膜