大型単結晶ダイヤモンド・ウェハの製造技術

摘要

さまざまな優れた物性を持つダイヤモンドを、エレクトロニクス分野に応用する研究が進められています。ここでは、その基礎となる単結晶の大量製造技術「ダイレクトウェハ化技術」についてご紹介します。