プラズマ材料プロセス/希薄気体シミュレーションツール「PEGASUS」

摘要

ペガサスソフトウェアでは、半導体製造や、プラズマプロセス、真空技術のプラズマ材料プロセス/希薄気体シミュレーションツール「PEGASUS(Plasma Enhanced materials processing and rarefied GAS dynamics Unified Simulation tools)」を14年前より販売している。同ソフトは、国内外の企業•大学•研究所含め、のべ100サイト以上の採用があり、装置の設計だけでなく、材料、デバイスの開発のほか、製造プロセスの改良にも利用できる支援シミュレータである。