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摘要

Im Jahresbericht 2007 des Deutschen Bundesministeriums für Bildung und Forschung wird die Mikrosystemtechnik (MST) als eines von 17 Zukunftsfeldern mit wirtschaftlichem und wissenschaftlichem Potenzial bezeichnet, über die neue Märkte für Produkte und Dienstleistungen erschlossen werden können. Unter MST werden Fertigungsmethoden zur Herstellung von MEMS oder MOEMS (micro opto electro mechanical Systems) bezeichnet, wobei Ver- fahren aus der Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrofluidik und Mikrooptik kombiniert zur Anwendung kommen. Die Abmessungen der funktionsbestimmenden geometrischen Strukturen liegen im Mikrometerbereich, was als Abgrenzung zur Nanotechnologie herangezogen wird.
机译:在德国联邦教育与研究部的2007年年度报告中,微系统技术(MST)被描述为具有经济和科学潜力的17个未来领域之一,通过该领域可以开拓产品和服务的新市场。 MST是指用于生产MEMS或MOEMS(微光电机械系统)的制造方法,其中微电子,微机械,微流体和微光学的工艺可以组合使用。决定功能的几何结构的尺寸在微米范围内,用作纳米技术的界限。

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