ダイヤモンドライクカーボン膜の実用化-現状と展望

摘要

1971年にAisenbergらが，はじめて“Diamond－like Car bon”という言葉を用いてから35年以上になる。当初はそ の名の示すように，ダイヤモンドに限りなく近い硬質炭素膜 を意味していたが，現在では非晶質炭素膜であれば比較的軟 質なpolymer－likeのものまで広義にDLCという言葉が用い られている。硬度，平滑性，耐摩耗性などの代表的な物性だ けでなく，ガスバリア性や抗血栓性などさまざまな 物性が合成方法や条件によって引き出され，機械部品だけで なく，包装容器や医療機器など幅広い分野への応用が期待さ れるようになった。ここでは，機械部品への実用化例につい ては簡単な紹介にとどめ，食品包装容器であるPET（ポリエ チレンテレフタレート）ボトルへの実用化例およびDLCを 被覆した体内留置型医療機器の開発について詳述する。さら に，今後の実用化の鍵を握る新しいDLCの大気圧下での合 成技術について現状を記す。