複合成膜により成膜された低屈折率SiO_2光学薄膜

摘要

「光あるところに光学薄膜あり」と言われるように.光学部品·製品に光学薄膜は必ずと言っていいほど用いられている。その日本の光学薄膜は，潜望鏡への増透処理(化学的処理),サーチライトのミラーフのコーティング等の軍事技術と顕微鏡対物レンズへのコーティング等の民生品から始まったと言われている。その後，旧日本軍で発達した技術は，双眼鏡，力メラ等の反射防止膜の技術として発展する。この発達には，成膜技術の進歩が重要な役割をはたしている。1950年代には，単層反射防止膜はソフトコートから真空中で基板を加熱することにより硬い膜(ハードコート）を作製できるようになる。このハードコートの出現により，実用上問題ない反射防止膜が，双眼鏡，カメラレンズなどに成膜されて普及する。1960年代になるとTVカメラのカラー化に伴い，広帯域で反射率の低い反射防止膜が求められる。そのためが型の分光反射率特性の3層マルチコート等の反射防止膜が作製されるようになり反射防止膜は多層化が進むことになる。その後，反射防止膜の作製技術は進歩し，反射防止膜の光学特性も高性能化していくのだが，一貫してその主役となる成膜方法は真空蒸着である。