ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ МАТЕРИАЛОВ МЕТОДАМИ ИОННО-ПУЧКОВОЙ ДИАГНОСТИКИ

摘要

Приведено краткое описание использованного для проведения работ ионно-пучкового аналитического комплекса. Показаны возможности элементного анализа материалов в результате использования методов резерфордовского обратного рассеяния ионов и рентгеновской флуоресценции при ионном возбуждении. Дана краткая характеристика этих методов и условий их реализации. Показано, что наибольшей эффективностью элементного анализа достигается при их совместном применении. Приведены экспериментальные данные, показывающие эффективность использования такого анализа при диагностике элементного состава остатков сухих жидкостей и твердых материалов, в том числе тонкопленочных сегнетоэлектрических пленок.