ОПТИМИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ МИКРО- И НАНООБЪЕКТОВ

摘要

Проведено компьютерное моделирование электронно-оптической системы низковольтного растрового электронного микроскопа. Расчет электромагнитных полей системы был произведен методом конечных элементов. Установлено, что наиболее удовлетворяющей для низковольтного режима является система с промежуточным ускорением электронов внутри колонны. Показано, что наилучшее сочетание разрешающей способности и производительности может быть реализовано при работе системы третий конденсор-объектив в режиме, близком к телецентрическому. При этом, по сравнению с телецентрическим режимом, производительность измерений может быть повышена на 35% при минимально достижимом разрешении. По сравнению с традиционными конфигурациями растрового электронного микроскопа предлагаемое решение обеспечивает повышение производительности более чем в 100 раз при сохранении заданной погрешности измерений размеров структур с минимальными размерами до 65 нм.