СИНТЕЗ ПЛЕНОК ТВЕРДОГО РАСТВОРА PdO-RuO_2 МЕТОДОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКСИДИРОВАНИЯ И ИХ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА

摘要

Методами просвечивающей электронной микроскопии, дифракции быстрых электронов и дифракции быстрых электронов на отражение исследованы фазовые и структурные превращения в пленках твердого раствора Pd—Ru(7 ат. %) при термическом оксидировании в атмосфере кислорода в диапазоне температур 570—1070 К. Установлено, что с увеличением температуры оксидирования происходит изменение фазового состава в следующей последовательности: твердый раствор Pd-Ru(7 ат. %) → Pd-Ru(7 ат. %) + PdO + RuO_2 → PdO + RuO_2 → твердый раствор PdO-RuO_2. Показано, что полное оксидирование пленок системы Pd— Ru(7 ат. %) с образованием однофазной пленки твердого раствора PdO—RuO_2 происходит при более высокой температуре (выше на 100 К) по сравнению с пленками чистого палладия. Впервые изучен резистивный отклик однофазных пленок оксида твердого раствора PdO—RuO_2 на озон в атмосфере воздуха, и показана перспектива использования этого материала в газовой сенсорике.%The phase and structural transformations in the films of Pd—Ru(7 at. %) solid solution under thermal oxidation in an oxygen atmosphere in a temperature range 570—1070 К were studied by transmission electron microscopy, high-energy electron diffraction, and reflection high-energy electron diffraction. With an increase in the oxidation temperature, the phase composition was found to change in the next sequence: solid solution Pd-Ru(7 at. %) → Pd-Ru(7 at. %) + PdO + RuO_2 → PdO + Ru02→ solid solution PdO-RuO_2. Complete oxidation of Pd—Ru(7 at. %) films to form a single-phase film of PdO—RuO_2 solid solution was shown to take place at a higher temperature (higher by 100 K) than pure palladium films. For the first time, the resistive response of single-phase films of PdO—RuO_2 solid solution oxide to ozone in an air atmosphere was studied and the prospect of using this material in gas sensorics was shown.