ОБРАЗОВАНИЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДОВ ПРИ ИОННО-ПЛАЗМЕННОМ НАПЫЛЕНИИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА АЛМАЗЕ

摘要

Методом растровой электронной микроскопии изучена морфология металлических пленок на алмазе, напыленных ионно-плазменным методом при температуре 600°С в вакууме 10~(-2) Па. Показано, что на поверхности пленок формируются кристаллические образования и игольчатые структуры. Методом рентгенофазового анализа установлено, что образуются в основном соединения Ni_mTi_n.%The morphology of metal films on diamond deposited by the ion-plasma method at temperature 600℃ in vacuum 10~(-2) Pa are studied by scanning electronic microscopy. Crystalline and needle structures are shown to be formed on the surface of the films. X-ray phase analysis has shown that Ni_mTi_n compounds are mainly formed.