電源一体型ターボ分子ポンプの開発

摘要

In the field of large in-line spatter devices used for manufacturing of solar cells, liquid crystal displays, and glass for building materials, the integration of a turbo-molecular pump (TMP) and a power supply unit has been required for miniaturization of the spatter devices. Especially, in Europe and China, the major markets of the spatter devices, the integrated model has already dominated the TMP market. To meet the demand, we have developed the power supply unit integrated type TMPs, called TMP-V2304 series and TMP-V3304 series.%建材用ガラス，太陽電池，液晶ディスプレイなどの製造に用いられる大型インラインスパッタ装置に搭載されるターボ分子ポンプ（以下TMP）では，装置小型化のために電源一体型TMPが要求されている。特に装置の主市場である欧州および中国においては，装置に搭載されるTMPは電源一体型が採用されており，この分野で主流となった。本稿では，電源一体型TMPとして開発・製品化したTMP」V2304シリーズ，TMFV3304シリーズについて紹介する。