...
机译:基于电化学驱动的SU8悬臂的芯片实验室应用微型阀
MEMS/MST Department, IKERLAN S. Coop. Polo Innovation Garaia, Mondragon, Spain;
MEMS/MST Department, IKERLAN S. Coop. Polo Innovation Garaia, Mondragon, Spain;
MEMS/MST Department, IKERLAN S. Coop. Polo Innovation Garaia, Mondragon, Spain;
MEMS/MST Department, IKERLAN S. Coop. Polo Innovation Garaia, Mondragon, Spain;
microvalves; cantilevers; su8; electrochemical actuation; microfluidics; lab-on-a-chip;
机译:基于SU-8悬臂结构的柔性电流变微阀(FERV)及其在微执行器中的应用
机译:通过表面改性对Tribo-Si和SU8材料进行功能化,以用于基于MEMS / NEMS执行器的设备
机译:微电平静电驱动悬臂和金属接触基于多频段应用的RF MEMS开关
机译:用于芯片实验室应用的静电致动聚对二甲苯微阀
机译:基于微悬臂的生物传感器,用于电驱动和检测分子相互作用
机译:电荷自感应应用的压电悬臂执行器的优化设计
机译:基于离子液体的新型多功能材料:按需微阀驱动,适用于芯片实验室应用
机译:基于NiTi形状记忆合金(sma)的溅射镍钛(NiTi)应力和热驱动悬臂双压电晶片的表征。