机译:ALD TiOx作为InGaZnO115 ISFET的顶栅介电和钝化层
Georgia Inst Technol, Sch Elect & Comp Engn, Atlanta, GA 30332 USA|Georgia Inst Technol, Sch Mat Sci & Engn, Atlanta, GA 30332 USA;
US Air Force, Res Lab, Sensors Directorate, Wright Patterson AFB, OH 45433 USA;
Georgia Inst Technol, Inst Elect & Nanotechnol, Atlanta, GA 30332 USA;
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InGaZnO; thin film transistor; chemical sensing; ISFET; passivation; ALD; TiOx;
机译:ALD驱动HFO2和AL2O3缓冲层对基于DY基介质界面化学和电特性的比较钝化作用
机译:具有ALD HfO2,HfSiOx和HfSiON栅极电介质的MOS器件中使用不同镧前体的ALD La2O3覆盖层的电学特性
机译:具有TiOx背面钝化层的高探测和稳定性多层 - 石墨烯/ SI-量子点光电探测器
机译:顶级单层MOS_2 MOSFET采用低温ALD形成ZRO_2栅极电介质
机译:使用远程等离子处理的栅极电介质和钝化层的氮化镓-电介质界面形成。
机译:ALD沉积La2O3 / Al2O3叠层和LaAlO3介电薄膜的电学性能研究
机译:界面电介质层对顶栅in-Zn氧化物薄膜晶体管电性能的影响