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摘要

The Gradient Dryer uses the difference between the surface tension of H_2O and alcohol to produce a gradient that generates fast and effective drying of substrates. Surface tension gradient drying yields substrates that are watermark-free with low particle counts. There are no metallic components inside the dryer, therefore charge damage is eliminated. With no moving parts or mechanical stress, the elimination of spin drying reduces wafer breakage. It can process a variety of substrate types and sizes in numerous batch configurations with no post-treatment of effluents.
机译:梯度干燥机利用H_2O和酒精的表面张力之间的差异产生一个梯度,从而可以快速有效地干燥基材。表面张力梯度干燥产生的基材无水印且颗粒数少。干衣机内部没有金属组件,因此消除了电荷损坏。由于没有移动部件或机械应力,因此消除了旋转干燥,从而减少了晶圆破损。它可以在不对废水进行后处理的情况下,以多种批次配置处理各种类型和尺寸的基材。

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