ノードソングループ新プラズマ装置高生産性を実現

摘要

プラズマ処理技術の大手、ノードソンコーポレーシヨン(米オハイオ州)の一部門であるノードソンエレクトロニクスソリューションズは、基板サイズが最大30×52インチパネル対応の15セル構成のブラズマ処理システム「MARCH MegaVIA」(写真)を発表した。従来機種の設置面積とほぼ同じだが、パネル処理量を54%以上増加させた。また高いプロセス再現性とプラズマ処理の均一性も実現している。