SEMI-450mm関連スタンダード EHS関連の活発な議論進む 省エネ•省資源化で大きな挑戦

摘要

SEMI(SEMIジャパン=東京都千代田区九段南4-7-15、03-3222-5755)では、2007年から450mm関連のスタンダード活動をスタートし、関連企業が多岐にわたるワークショップにおいて積極的な議論を行っている。装置の環境·安全配慮設計については、300mmへの移行の際に大きく議論され、それ以前の規格から大幅な改訂が行われた。SEMI環境·健康·安全(EHS)ガイドラインの中心に位置するのは、ドキュメント「SEMI S2」だ。その下に、S6(排気•換気)、S8(人間工学)、S10(リスクアセスメント)、S14(火災)などのサポートスタンダードがあり、それらの規格は随時更新されている。