SPE業界 変化のとき: 改造·リファブ·サービスを 新たな柱に 専門会社でアップグレードに力点 台湾にリファブセンター設置

摘要

半導体製造装置(SPE)メーカーが新たな事業の柱として期待を寄せる改造·リファブ·アフターサービスなどのポストセールスに焦点を当てた本連載の2回目以降は、各社別の取り組みを紹介していく。今回は半導体露光装置を手がける㈱ニコンを取り上げる。同社はi線やKrF、ArFなど半導体露光装置を手がける。直近の新品装置シェアでは、オランダのASMLにArF液浸を中心に水を開けちれているが、グローバルでのこれまでの納人実績は約8000台(うち実稼働は約5000台)と、ArFからシェアを急速に上げてきたASMLに比べ、ポストセールス部門における潜在的ポテンシャルは高い。同社のポストセールス事業は、これまで装置の売買などにとどまっていた。しかし、東日本大震災を契機に、国内半導体メーカーを中心に、少ない投資コストで装置を延命·改良·改善するニーズが一気に拡大。これに応えるかたちで同社もポストセールス部門の強化に乗り出している。