NTN 微細塗布装置に測定機能を追加

摘要

NTN㈱(大阪市西区京町堀1-3-17、06-6443-5001)は、卓上型高速微細塗布装置に、塗布形状を3次元測定する機能を付加した開発品の提案を開始した。0.7秒で塗布から測定まで対応可能(塗布0.1秒、測定0.6秒)で、現在チップ部品実装やMEMSセンサーの量産ライン向けに適用の検討が進んでいる。同社では2015年に針の先端に付着させた数pL(1兆分の1L)の微細な液滴を、1回あたり0.1秒で高精度に塗布できる「卓上型高速微細塗布装置」を発売。電子部品の実装分野で塗布した接着剤の形状や塗布量を全数測定し、品質管理に活用したいという意見を得た。そこで今回、塗布装置に微細3次元形状測定の機能を付加した同製品を開発した。