東北大学未来科学技術共同研究セン夕ーCMOSセンサー第一人者の須川教授が指導

摘要

東北大学未来科学技術共同研究センター(仙台市青葉区荒卷字青葉6ー6ー10)は、日本における半導体製造装置•プロセスの最高権威として著名であった故大見忠弘教授が、心血を注いで立ち上げたセンターである。すばらしく制御された最高空間のクリーンルームを擁することで国内外に知られている。同センターは2001年に企業からのをもとに建設され、約1300 m~2 (クラス10)のクリーン ルームを擁しており、KrFステツパーとEB直接描画による微細加工で、200〜300mmゥエハーの試作および測定評価ができる。