東京エレクトロン10Gエッチャー投入4.5G用IJ描画装置も

摘要

東京エレクトロン㈱(東京都港墨5-3-1、03-5561-7000)は、10.5世代(10.5G=2940×3370mm)ガラス基板に対応したドライエッチング装置「Impressio3300PICP」と、4.5G(7300×920mm)基板対応の有機ELディスプレー製造用インクジェット(IJ)描画装置「Elius1000」(写真)を発売した。