アルバックのSiディープエッチング技術従来手法とは異なる独自技術「NLD」の開発が低汚染，高プロセス制御性などを可能に

摘要

真空関連装置のリーディングメーカーであるアルバック。半導体・FPD分野において，スパッタリング装置，イオン注入装置，アッシング装置など，多くの製品ラインナップを有している同社だが，本稿では，今後市場のさらなる拡大が見込まれている，MEMS・マイクロマシン向けに同社がりりースしているSiデイープエッチング装置の技術動向について，同社半導体研究所 第2研究部 部長の鄒紅罡氏に伺った。