止まらぬ基板大型化で止まらぬ搬送技術革新非接触枚葉搬送装置，高密度収納カセット巨大すぎる搬送ロボットの正体にも迫る

摘要

LCD-TVの急激な需要拡大が進む中，LCDメーカ ーでは，生産効率を向上することに加え，コスト低 減のためガラス基板サイズの大型化を進めている。 現在では，第8世代など2m角を超えるガラス基板 を採用した製造ラインが立ち上がりつつある。その 結果，ガラス基板の扱いは，今まで以上に困難にな り，たわみによる搬送中のストレスの増大や，基板 収納スペースの拡大などか問題となってきている。 本稿では，ガラス基板の巨大化に立ち向かって，搬 送の高信頼と高生産性の実現に向けた取り組みを行 っている，LCDガラス基板搬送メーカーの動向を レポートする。