産総研ナノチューブ応用研究センターcntウエーハ作製とその微細加工技術を開発rnmemsデバイスの量産実用化に近づく

摘要

産総研ナノチューブ応用研究センターは，CNTウrnエーハの開発により，集積化されたMEMSデバイrnスの作製を実現。微細加工技術により任意の場所にrn任意の形状でCNTの三次元構造を作製することがrn可能となっている。