日本レーザー，超音波顕微鏡分野に注力MEMS開運での新しい検査二ーズに期待接合面の品質管理に効果を発揮

摘要

日本レーザーは，レーザ関連の装置を主に扱う商社rnであり，非破壊検査装置の分野にも力を入れている。rn超音波顕微鏡「EVOLUTION」シリーズは，半導体rn検査，材料解析などの分野を中心に広く導入されてrnおり，最近ではMEMS分野での採用も進んでいる。