Intel，Samsung，TSMCの3社が450mm化に合意主要装置メーカーの取組状況を緊急調査具体的にスタートしたメーカーは極わずか

摘要

450mm化の動きが遂に具体性を帯びてきた。現rn段階では，最終的な方向性の結論は出されていないrnが，大手デバイスメーカー3社が推進を発表したこrnとで，装置メーカーとしては，検討せざるを得ないrn状況に追い込まれた。装置メーカーとしては，例えrn1社が相手でも利益が出るビジネスが見込めれば取rnり組む。だが，どこまで，450mm化が拡大するrnのか見えてこないうちは，スタートできないというrnのが本音であろう。本稿では，主要装置メーカーへrnのアンケート調査結果から，各社の現状を探る。