日本インチグリスの大流量対応デイフユーザー対象マーケットのニーズに応じた製品開発FPD製造プロセスや太陽電池製造装置へ採用

摘要

パーテイクル付着低減による歩留り向上やスループrnット向上効果で浸透しつつあるデイフユーザー。さrnらなるスループット向上を実現する200,400,rn700slpmの大流量タイプを新開発し，採用実績をrnあげている日本インテクリスを取材した。