オリンパス，独自のMEMS技術で幅広く事業展開マイクロカンチレバーは基本性能と使いやすさを追求レーザ顕微鏡は表面粗さの評価測定にも対応

摘要

オリンパスは，長野県辰野工場にMEMS用クリーンrnルーム保有しており，MEMSを使った製品開発やrnファンドリ事業などを展開している。本稿では，マrnイクロカンチレバーとレーザ顕微鏡を中心に同社のrnMEMS事業についてまとめる。