拡大続くMEMS市場，民生・車載はコモディティ化バイオ・ナノテクとの融合による次世代MEMSに期待環境エネルギー，医療福祉，安心安全がキーワードに

摘要

SiベースのMEMSは，民生・車載用センサなどのrn分野で市場拡大が続く。その一方で，バイオやナノrnテクなど異分野との技術融合による次世代MEMSrnの開発も着実に始まっている。