岩通計測，高安定・高分解能の変位計を開発小型プローブで位置決めや姿勢制御に威力を発揮

摘要

岩通計測は，ナノメートル単位での位置決めや測定に対応した静電容量式変位計の新製品を発表した。プローrnブ内に回路を内蔵しない「パッシブ型」の採用によって高安定性を実現するとともに，最高で0.3nm msとrnいう高分解能則定を可能とした。また，プロ－ブの小型化によりシステムへの組込みについても自由度が増し，rn様々なアプリケーションへの対応が可能となっている。