Swagelok，ald向けバルブの新製品を発表cv値改善と高温での精密な流量制御を実琭

摘要

Swagelokは，SEMICON Japan 2008において，ALD向けバルブなどの新製品を展示した。メタルゲートrn形成をはじめとするhigh-k材料のALDプロセスでは，チャンバ内にプリカーサを安定的に供給するために，rn高温での精密な流量制御を行うバルブ技術が不可欠となる。同社製品および設計技術の優位性について，セミrnコンダククー・マーケテイング・ディレクターのPaul Totten氏に話を伺った。