トッキの有檆el製造装置要求に対し穘々開発を推適rn縦型装置の開発にも着手

摘要

有機ELの量産製造が始まって10年が経過した。世rn界で最初に有機EL製品を世に出したのはバイオニrnアで，97年に車載用FMレシーバを発売した。最初rnは単色やエリアカラーのパッシブマトリクス駆動のrnものからスタートし，車載機器，携帯電話のサブデrnィスプレイやMP3の表示など小型ディスプレイにrn採用されてきた。そして07年にはアクティブ駆動rn型有機ELの本格生産が始まり，携帯電話のメインrnディスプレイとして採用された。また，同年末にはrn世界初の有機EL-TVがソニーから発売され，有機rnEL業界は再びさ義兄となった。トッキは93年頃よりrn有機EL製造装置の開発·販売を行っており，世界rnで初めてのを完成させた。本稿では現rn在生産が行われている低分子材料の真空蒸着装置をrn中心に，最新の有機EL用量産製造装置について説rn明する。