連続切片SEM法に新機能自動で高品質な画像取得

摘要

◇連続切片自動撮像機能ACAT(Auto Capture for Array Tomography)日立ハイテクは、Regulusシリーズのオプションとして、近年脚光をあびている樹脂包埋標本の連続断層SEM像を3次元再構築する連続切片SEM法(Array Tomography)の新機能として、連続切片自動撮像機能ACAT(Auto Capture for Array Tomography)を製品化した。連続切片SEM法は、試料を薄く切削し連続的に配置し連続切片を作成、各切片の同一箇所の画像を取得してスタックすることで3次元再構築(トモグラフィ)を行う。この技法は、①TEM連続切片観察法の高度なグリッド操作技術を必要とせず、②広領域の標本観察が可能で、③観察した切片を何度も観察、かつSEM観察領域(広域観察)での観察が可能—などの特長がある。