光照射利用してフッ素樹脂上に銅微細配線形成

摘要

芝浦工業大学工学部応用化学科の大石知司教授は、フッ素樹脂上への簡便な銅微細配線形成技術の開発に成功した。近年の情報化社会の進展に伴い、情報の大容量化と高速伝送の要求は著しいものがある。この要求にこたえるために伝送信号の高周波化が進んでおり、高周波領域において良好な誘電特性を持つ樹脂基板材料の導入が検討されている。大石教授によると「フッ素樹脂材料(ポリテトラフルオロエチレン：PTFE)は、誘電率と誘電損失が小さく、高周波対応材料としての期待が大きいものがありますが、フッ素樹脂は、表面エネルギーが極めて小さく撥水性であるため、他材料との接台が困難で、樹脂上に配線やデバイスを形成することが難しいものがあります。このためフッ素樹脂材料の親水化とその表面への配線形成の簡便な形成方法が求められています」という。