半導体洗浄装置 投資回複も13年はマイナス 着実に進む450mm技術開発

摘要

2012年の洗浄装置市場(スクラバー含まず)は、ファンドリーやMPUメーカーなどで設備投資が抑制基調で推移するなか、前年比3.3%増の1900億円と前年に引き続きプラス成長を記録した。その牽引役となったのが枚葉式洗淨装置で、その構成比率は約8割以上に達している。しかし、NANDフラッシュの一部剥離工程などでバッチ式の需要があり、今後1～2年はその比率に大きな変化はないものと思われる。