各社の動向

摘要

ポリマー剥離液では「ST-250」と後継品「TiTaN klean」をラインアップ。ST-250は先端デバイスの量産で広く使われ続けるロングセラーであり、根強い需要がある。TiTaN kleanは残渣性とメタルハードマスクおよびLow-k膜への低ダメージ性の両立をコンセプトに開発を進めている。CMP後洗浄液では、三洋化成工業との協力関係を解消したが、日本市場向け薬液の開免はグローバルの開発拠点で積極的に継続しており、国内顧客への販売や製品改良なども日本法人を中心に従前どおり対応している。