コンパクトでも分解能4nm操作性向上 熟練度問わず

摘要

走査電子顕微鏡「FlexSEM 1000」(日立ハイテクノロジーズ=東京都港区西新橋1-24-14)=写真日立ハイテクノロジーズは、新型の走査電子顕微鏡(SEM)「FlexSEM1000」を開発し、発売を開始した。この製品は、装置の小型化により卓上設置を可能とするとともに、上位機種と同等レベルの分解能での観察、ユーザーの熟練度を問わない操作性の向上を実現した。卓上設置可能なコンパクトサイズでありながら、分解能、操作性を大幅に向上している。