天野浩教授「世界ナンバーワンめざす」

摘要

世界で初めて、窒化物半導体デバイスに特化したプロセスラインがC-TEFsに構築されま した。基板、ェピタキシャル成長、プロセス、 実装、システム組み込みをアンダーワンルー フで行うことのできる世界唯一の場です。具 体的には従来のLEDに加えて、パワー、高周 波、光集積デバィスを試作可能な研究·製造ラ インです。このように、産官学に対して窒化物 半導体デバイスの総合的な研究プラットフォ ームを提供し、窒化物半導体技術の社会実装 を加速するとともに、新しい結晶成長技術や デバイス技術の開拓（基礎研究）も進めます。