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INTERFEROMETRIC VIBRATION DISPLACEMENT MEASUREMENT

机译：干涉振动位移测量

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摘要

An interferometric method for measuring vibration displacement and acceleration in the 800 Hz - 10 kHz frequency range is described and experimentally tested. Our experimental setup is based on the Twyman-Green interferometer and we were able to measure vibration displacements of 0.12 and 0.27 urn. Depending on frequency, accelerations in the range 1.52 - 10.75 m/s2 were obtained.
机译：介绍了一种干涉法，用于测量800 Hz-10 kHz频率范围内的振动位移和加速度，并进行了实验测试。我们的实验装置基于Twyman-Green干涉仪，我们能够测量0.12和0.27 um的振动位移。根据频率，获得的加速度在1.52-10.75 m / s2的范围内。

著录项

  • 来源
    《Romanian reports in physics》 |2010年第3期|p.671-677|共7页
  • 作者

    F. GAROI; P.C. LOGOFATU; D. APOSTOL; C. UDREA; P. SCHIOPU;

  • 作者单位

    National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele 077125, Romania;

    National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele 077125, Romania;

    National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele 077125, Romania;

    National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, Magurele 077125, Romania;

    Politehnica University of Bucharest, Department of Optoelectronics, 1-3 luliu Maniu Blvd, Bucharest 061071, Romania;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    interferometry; displacement measurement; vibration analysis; metrology.;

    机译：干涉测量位移测量;振动分析;计量学。;

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