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机译:基于微机电系统的悬臂梁对TiO2 sub>薄膜的力学表征
FBK-CMM: Fondazione Bruno Kessler-Center for Materials and MicroSystems, via Sommarive 18, Trento 38123, Italy;
cantilevers; electric sensing devices; elemental semiconductors; internal stresses; microfabrication; micromechanical devices; piezoresistive devices; silicon; sputter deposition; thin films; titanium compounds; X-ray diffraction; Young's modulus;
机译:基于微机电系统的Pb(zr,ti)o_3薄膜静电场传感器
机译:SU-8薄膜通过变化的有效长宽比进行机械表征,用于微机电系统
机译:基于微机电系统的气相色谱柱的制备和表征,该色谱柱具有嵌入式微柱,用于分离环境致癌物
机译:测量微机电系统中薄膜力学性能的方法研究
机译:射频微机电开关金薄膜致动膜的温度依赖性和特性
机译:基于压电悬臂阵列的微机电系统人工基底膜及其动物模型表征
机译:用于微机电系统的质子辐照共聚物薄膜的表征