エレクトロマイグレーション

摘要

マイグレーション（migration)とは「移住」、「移動」という意味であり、電気的にはイオンまたは金属(特に銀）の移動現象をいい、エレクトロマイグレーションと銀(Ag)マイグレーションがある。エレクトロマイグレーション（electromigration)は、集積回路内部の金属配線に電流を流すことにより金属原子が移動する現象である。100年以上前からエレクトロマイグレーションは知られていた現象であるが、実用的な意味で注目されるようになったのは、集積回路が製品化されたことによる。集積回路の集積度が高まり、集積回路が微細化することに伴い、エレクトロマイグレーションによる故障発生の可能性が増大している。これは電力密度と電流密度が増大するためである。回路のサイズがl/k倍になると、電力密度はk倍、電流密度はk~2倍となり、エレクトロマイグレーションへの影響が大きくなってくる。