「セミコン台湾2013」リポート 台湾製ドライ真空ポンプ初展示

摘要

荏原製作所は、技術革新と低コスト化が進む半導体製造プロセス向けのひとつに低消費電力で耐久性に優れたドライポンプを提供する。1986年に上巿以来、液晶分野も含め全世界で10万台以上の納入実績を持つ。今回、同社はメード•イン•台湾のドライポンプ「EV-S型」を初めて展示した。最近の台湾巿場について、営業統括部コンポーネント営業推進室の藤野佳宏室長は「動向の特徴は①コスト低減•電力代の高騰から低消費電力化の要求が大きい②台湾製真空ポンプの需要が多い③商品サイクルが速いためスピードが速く、納期短縮が求められる④有毒ガスを排出しないてとに加え、自主規制であるが、地球温暖化につながるPFC(パーフルオロケミカル)削減への要求も強いてとなどがある」と語る。今回展示した台湾製ドライポンプは、てれらの需要に応えるもの。