スプレーコート方式レジスト塗布装置 SCREENホールディングスが発売

摘要

SCREENホールディングスは6日、立体構造を持つ電子デバイスなどに対応するレジスト塗布装置「80EXスプレーコータ」=写真=を発売したと発表した。高機能化が進むスマホやウエアラブル端末、医療関連機器を中心に需要が拡大しているMEMS基板などへ、均一性の高いレジスト塗布を可能にした。