リークテストシステムを開発 高感度ヘリウムリーク試験技術カプセル蓄積法採用

摘要

フクダは、高感度ヘリウムリーク試験技術「カプセル蓄積法」を採用したリークテストシステム「MUH-0100」を開発した。MEMSデバイスの気密性を検査する裝置として31日から販売を開始する。価格は1300万円。新製品は、自動車や携帯電話などに搭載される加速度センサー、圧力センサーといった各種MEMSデバイスの気密性を検査する装置。MEMSセンサーは、極小の漏れでも大きな問題になる可能性があり、そのために厳しい気密性の規格が求められている。