サーミスタセンサー 世界最薄で曲げても動作

摘要

三菱マテリアルはサーミスタ、サージアブソーバ、アンテナなどを中心に出展する。中でも世界最薄となる100マイメークロトル以下の厚さで、曲げても動作するフレキシブルなサーミスタセンサーが注目される。新製品は、厚さ50マイメークロトルのポリイミドフィルム上に0.1マイクロ-0.2マイメークロトルのサーミスタ薄膜を直接形成したもの。電極や保護膜を含めたセンサーの厚みは70マイメークロトル以下で、世界で最も薄いサーミスタセンサーを実現した。