LSIの高生産性追求 ローム、前工程·後工程とも

摘要

ロームは、LSI前工程の高生産性ラインづくりを加速する。また、昨年完了したLSI後工程の高生産性ラインの再強化に取り組む。「14年は変革を加速する年」(澤村諭社長)と言い、LSI、ディスクリートの2大事業の拡大、強化を進める中で、LSIの高生産性ラインづくりを推進する。LSI前工程は、最先端工場ローム浜松(浜松市)のBiCDMOSラインの300ミリウエハー対応、0.13μメートル微細プロセスラインを業界に先駆けて今秋から本格稼働させる。PC、タブレット端末のほか、車載向けなどで需要が増大している電源IC、モータードライバー、LEDドライバーなどのアナログ·パワーデバイスの国際競争力を格段に高める。松本功取締役LSI生産本部長は「ローム浜松のBiDMOSラインをこれまでの主力だった200ミリウエハー対応の0.35μメートルプロセスから昨年200ミリウエハー対応の0.18μメートルプロセスに切り替えた。今年に入り300ミリウエハー対応の0.13μメートルプロセスの開発を完了し、4月からサンプルを流し始めている。今秋から本格稼働させていく。現在ローム浜松の生産量の40％となった300ミリウエハー生産を15年度には60%から70%にまで引き上げていきたい。アナログ·パワーデバイスのコスト競争力アップとともに、自動車などで求められる高品質、高信頼性の要望に徹底的に応え、ダントツの品質、信頼性を提供していく」と説明する。