アルバック 中国に共同試験所開設 現地の微電子研究所と 真空成膜装置な ど導入

摘要

中国電子報によると、中国科学院微電子研究所は日本の真空装置メーカーのアルバックと共同試験所の開設に合意し、このほど北京で調印式を行った。同試験所は両者協力の窓口となり、新開発技術の試験基地の役割を果たす。