エキシマ光照射ユニットを開発ウシオ電機

摘要

ウシオ電機は従来比5倍の高照度でありながら60%のダウンサイジングを実現した半導体製造プロセス向け工キシマ光照射ユニットの開発に成功した。同製品は2年度中に販売開始の予定。