半導体故障解析装置の新型販売浜松ホトニクス

摘要

浜松ホトニクスは、独自の光学設計技術を応用した多波長対応のレーザースキャナを搭載することで、可視光から近赤外光までの波長の光での故障解析を1台で行元る半導体故障解析装置「PHEMOS (フィーモス)-XC15765-O1」を、4月から販売を開始する。価格(税別)は3680万円。